像考霞、佳能和日本印刷这样的公司是这条技术道路的主要推动者,他们正在共同开发并计划在2025年之前将这项技术投入实际应用。日经新闻此前表示,与EUV光刻工艺相比,使用纳米压印光刻技术制造芯片可以降低近40%的制造成本和90%的功耗。
纳米压印黑技术到底是什么?能否取代复杂的光学光刻?
数据表明,纳米压印是一种采用传统机械模具微复制原理的微纳米加工技术。简而言之,传统的光刻设备通过将电路图案投射到涂有抗蚀剂的晶圆上来转移电路图案,而纳米压印光刻芯片则将印有电路图案的掩模压印到晶圆上的抗蚀剂上,就像在橡皮泥上盖章一样,然后释放芯片。